优势：
1、检测灵敏度高：不大于10μm的气泡及包裹体；
2、全口径范围内原位测量分辨率：优于1μm；
3、检测口径大，可检测元件尺寸不小于500mm×500mm×100mm；
设备主要规格参数
序号 | 技术指标名称 | 技术指标参数 |
1 | 最大检测口径 | 500mm×500mm×100mm |
2 | 检测灵敏度 | ≤10μm |
3 | 检测误差 | 相对标称值不大于10% |
4 | 定位误差 | ≤0.5mm |
5 | 扫描重复定位精度 | ≤5μm |
6 | 检测速度 | ≤20分钟（通光口径430mm×430mm） |
7 | 全口径范围内原位测量分辨率 | 优于1μm |
8 | 面照明下单次成像口径 | ≥50mm×50mm |
9 | 全口径三维大视场面成像层析厚度 | 全口径三维大视场面成像层析扫描，深度层析最小厚度达到1mm，且根据测量需要深度层析厚度在1mm~5mm范围内可调 |
