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气泡与包裹体检测仪

精密光学检测仪器

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气泡与包裹体数字化检测系统主要用于光学材料内部气泡与包裹体等缺陷的定位与定量检测，可实现直径不小于10μm气泡与包裹体的数字化检测与分析能力。
掩模基板抛光机

半导体加工设备

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主要应用于半导体集成电路的高平坦度的电子设备用基板，该设备提供一种新的掩模基板抛光和制造方法。
化学机械抛光单模组

半导体加工设备

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基于晶圆的抛光设备，利用柔性抛光头承载晶圆在抛光垫上旋转抛光。设备具有高度兼容性，可以通过修改RECIPE变更加压压力。可通过最多3种化学液的配合下实现化学机械抛光。 <a href="http://pro7fdd4f.pic49.websiteonline.cn/upload/CMP1.pdf" target="">点击获取更多技术资料</a>
光机电一体化定制与服务

光机电一体化定制设备与服务

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光机电一体化产品的设计、制造和开发，根据客户需求提供个性化的光、机、电一体化定制服务。
激光球面干涉仪

精密光学检测仪器

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激光球面干涉仪，采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌，适合车间、实验室大批量球面透镜的快速检验。
4吋激光干涉仪

精密光学检测仪器

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激光干涉仪采用相移技术准确表征被测表面的三维形貌，测量精度高达 0.06um 甚至更高，广泛用于平面光学元件高精度检测。 <a href="http://pro7fdd4f.pic49.websiteonline.cn/upload/100GSY_nwwk.pdf" target="">点击获取更多技术资料</a>

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